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minat_dünnschicht

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Kartei Details

Karten 37
Sprache Deutsch
Kategorie Technik
Stufe Universität
Erstellt / Aktualisiert 13.11.2023 / 13.11.2023
Lizenzierung Keine Angabe
Weblink
https://card2brain.ch/box/20231113_minatduennschicht
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Welches der genannten Verfahren ist kein PVD Verfahren?

Geben Sie die Druckbereiche in Zehnerpotenzen von millibar an für folgende Vakuumtypen:

- Vorvakuum:

- Hochvakuum:

- Ultrahochvakuum:

  • Vorvakuum:                   1000 bis 10-1 mBar
  • Hochvakuum:                10-2 bis 10-7 mBar
  • Ultrahochvakuum:         unter 10-7 mBar

Mit welchen Instrumenten kann Vakuum quantitativ gemessen werden? (min. 2 Nennungen)

  • Pirani- oder Membranzellen
  • Ionisationszellen (Penning)
  • Heisskathoden-Ionisationszellen

Wie nennt man die morphologisch gleichförmige Abscheidung von Substrat-identischem Material auf einem Substrat?

Sie ätzen einen Si-Wafer in KOH-Lösung. Bei welcher Kristallorientierung hat die geätzte Struktur senkrechte Wände zur Waferoberfläche? 

Bei welchen Produkten wird kristallrichtungs-selektives Ätzen heute angewandt?

Druckkopf-Tintenstrahldrucker

Was ist der wichtigste Vorteil von „Reaktiv-Ionenätzen" gegenüber kristallrichtungsselektivem Nassätzen?

Es ist immer anisotrop

Kann man in einer Sputteranlage auch „Reaktiv-Ionenätzen"?