Verfahren und Analysemethoden der MST
Vorlesung 16
Vorlesung 16
Welche drei Betriebsmodi gibt es bei Metall-Isolator-Halbleiter Strukturen?
- Anreicherung
- Verarmung
- Inversion
Skizzieren Sie eine Metall-Isolator-Halbleiter Struktur
siehe Bild
Wofür steht die Abkürzung EIS-Sensor?
Elektrolyt-Isolator-Halbleiter Sensor
Wie kann die pH-Sensitivität einer oxidischen Oberfläche erklärt werden?
Oberflächeneffekt
Was geschieht, wenn man ein n- und ein p-dotiertes Siliziumstück zusammenfügt?
Diffusion und Drift
Skizzieren Sie einen Juction-FET
Siehe Bild
Wofür steht die Abkürzung MOSFET?
Metal oxid semiconductor FET
Welche vier MOSFET Typen gibt es?
- N-Kanal Anreicherungs-MOSFET
- P-Kanal Anreicherungs-MOSFET
- N-Kanal Verarmungs-MOSFET
- P-Kanal Verarmungs-MOSFET
Wofür steht die Abkürzung ISFET?
Ionen-selektiver Transistor
Beschreiben Sie die drei wesentlichen Herstellungsschritte für eine MEA.
- Lithographie (IR-Prozess) und aufbringen der Passivierung (PECVD)
- Lithographie Ätzen (RIE)
- Wafersäge, Flip-Chip, Verkapseln
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Flashcards
Welche drei Betriebsmodi gibt es bei Metall-Isolator-Halbleiter Strukturen?
- Anreicherung
- Verarmung
- Inversion
Skizzieren Sie eine Metall-Isolator-Halbleiter Struktur
siehe Bild
Wofür steht die Abkürzung EIS-Sensor?
Elektrolyt-Isolator-Halbleiter Sensor
Wie kann die pH-Sensitivität einer oxidischen Oberfläche erklärt werden?
Oberflächeneffekt
Was geschieht, wenn man ein n- und ein p-dotiertes Siliziumstück zusammenfügt?
Diffusion und Drift
Skizzieren Sie einen Juction-FET
Siehe Bild
Wofür steht die Abkürzung MOSFET?
Metal oxid semiconductor FET
Welche vier MOSFET Typen gibt es?
- N-Kanal Anreicherungs-MOSFET
- P-Kanal Anreicherungs-MOSFET
- N-Kanal Verarmungs-MOSFET
- P-Kanal Verarmungs-MOSFET
Wofür steht die Abkürzung ISFET?
Ionen-selektiver Transistor
Beschreiben Sie die drei wesentlichen Herstellungsschritte für eine MEA.
- Lithographie (IR-Prozess) und aufbringen der Passivierung (PECVD)
- Lithographie Ätzen (RIE)
- Wafersäge, Flip-Chip, Verkapseln
