Elektronen Ionenspek

- Änderung der Bewegungsrichtung (und Energie) der PE durch:

- elast. Kernstreuung

- unelast. WW mit gebundenen Elektronen

- Energieabgabe durch

- Abstrahlung (Röntgenbremsstrahlung)

- Anregung der Ionisation von FK-Atomen

- Math. Beschreibung durch Streuquerschnitt

- nach Anzahl der Streuakte in Einfach- , Mehrfach-, Vielfachstreuung sowie Elektronendiffusion

Elektronen-Elektronen Streuung mit Energieverlust

Mechanismen:

- Ionisation des Atoms in innerer Schale   delta E = Eion + Ekin

- e- äußerer Schalen gehen in höhere unbesetzte Zustände über

- Dichteschwingung des Elektronenplasmas durch Plasmanenanregung ( Probenelek. WW mit anderen Probenelek.  → Ladungsdichtewellen

bei kleinen Streuwinkel überwiegt unelastische Streuung  d sigma unel. > d sigma el

bei großen Streuwinkelnvd sigma unel. = 1/Z * d sigma el.

- Ordnungszahl: je höher desto runder (Halbkugel, Zustand der Elektronendiffusion wird früher erreicht

- Primärlektronenenergie: je höher desto tiefer (zp Eindringtiefe nimmt zu)

- Beschusswinkel

Augerelektronen: 3nm- 5nm

Sekundärelektronen

Rückstreuelektronen

Röntgenstrahlung aus gesamten Bereich der Probe

Röntgenfluoreszensstrahlung (RS erzeugt RS)

Ablauf: Elst. Streuung→vRückstreuelek. und Aufweitung fokusierender Strahl

Abbremsung der Elektronen → kont. Rsbremsstrahlung

Ionisation→diskrete char. RS

S = - 1dE/(roh*dx) = (2piN_Le⁴Z)/(E₀A*) x  ln [(2E0/)J]

roh...Dichte

NL... Avogadro Zahl

A*...Atommasse in u

J...mittleres Ionisationspotential

R = 0,0033(E0^1,7 - Ec^1,7) A*/ roh*Z

R in µm wenn E0 und Ec in keV,  roh in g/cm³

Wahrscheinlichkeit, dass ein in der Tiefe z elast. gestr. Pe die OF ohne inelast. Streuung erreicht

W = exp( - z/ (lambda inelast. *cos teta))

- typischer oberflächennaher Prozess wenige nm (2-4)

- elastische Streuung im Potenial des Atoms

siehe Bild Unterlagen