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Flashcards
Welchen Materialparameter müssen Sie kennen, um mit Interferometrie die Dicke einer dünnen, transparenten Schicht zu messen?
Welche Signale kommen von der Probe in einem Rasterelektronenmikroskop (min. 2 Nennungen)?
- Sekundärelektronen
- Rückstreuelektronen
- Wärme
- Röntgenstrahlen
Welche geometrischen Parameter einer dünnen Metallschicht kann man mit der „4Spitzen-Messung" bestimmen?
Warum kann man in einem Röntgenmikroskop (praktisch) keine refraktiven optischen Elementen verwenden?
bö
Welcher geometrische Parameter bestimmt das Auflösungsvermögen einer diffraktiven, röntgenoptischen „Zonenplatte"?
Atomare Auflösung? bö
Welche oberflächenspektroskopischen Verfahren kennen Sie? (min. 2 Nennungen)
- EDAX (energy dispersive analysis of x-rays)
- ESCA (electron spectroscopy for chemical analysis)
- Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
- SIMS (secondary ion mass spectroscopy)
Nennen Sie mindestens zwei Möglichkeiten, die Dicke einer dünnen Silizium-Dioxid-
Schicht auf Silizium zu messen (2 Stichwoıte)
(Skript Seite 25 Lösung nicht bestätigt)
Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)
Hall-Effekt
Interferometrie / Reflektometrie
Warum erreicht ein Elektronenmikroskop so viel bessere Auflösung als ein
Lichtmikroskop? (mind. l Stichwort)
Die Auflösung hängt von der Wellenlänge ab
Licht hat die höhere Wellenlänge
Welchen Materialparameter muss man kennen, um mit der 4-Spitzen-Messung die
Dicke einer Metallschicht zu bestimmen?
Welche Auflösung erreicht heute ein gutes Raster-Elektronenmikroskop?
In welchen Branchen ist die Nanotechnologie heute bereits mit Massenprodukten
etabliert?
- Energieindustrie ( Solarzellen)
- Computerindustrie ( Tintenstrahldrucker, Computerchips)
Welche Technologiebereiche sind neben der Dünnschichttechnik entscheidend für die
definierte Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen?
- Strukturübertragung
- Strukturdefinition
Welche beiden, verwandten Instrumente haben den Einstieg in die Nanotechnologie
ermöglicht und warum? (3 Stichworte)
- Rasterkraftmikroskop
- Rastertunnelmikroskop
Weil sie nie zuvor dagewesene Auflösungen ermöglichten
Welcher Physik-Nobelpreisträger hatte nichts mit Nanotechnologie zu tun?
Auf welchem Gebiet ist das PSI besonders stark?
Welches Messwerkezug hat 1982 gewissermassen das "Tor zur Nanotechnologie" geöffnet?
Wer hat den legendären Satz geprägt „There is plenty of room at the bottom" und in welchem Jahr war das?
Richard Feynman 1959
Welche beiden grundsätzlich unterschiedlichen Ansätze verfolgt man bei der Herstellung von Nano Objekten?
- Top down
- Bottom up
Welche Messinstrumente haben die "Tür zur Nanowelt" geöffnet?
- STM Scanning Tunnel M. (Rastertunnelmikroskop)
- AFM Atomic force m. (Rasterkraftmikroskop)
Wer gehörte zu den "Gründerväter" der Nanotechnologie?
Feyman, Binning, Rohrer
Von welchen Parameter werden bei Nanopartikeln die physikalischen Eigenschaften abhängig?
der Grösse
Welche natürlich erzeugten Partikel sind Nanopartikel?
- Aerosole
- Rauch
Welches sind die drei grundlegenden Technologiebereiche der Mikro- und Nanofabrikation?
- Nanoelektronik
- Molekulare Nanotechnologie
- Nano Materialien
Welche "Objekte" entsehen auch heute noch ausschliesslich "bottom-up"?
Strukturen welche durch selbsorganisation gebildet werden. z.B. natürliche Produkte (Pflanzen)
