Mirko- und Nanotechnik
Messen und Charaktisieren
Messen und Charaktisieren
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Flashcards
Welchen Materialparameter müssen Sie kennen, um mit Interferometrie die Dicke einer dünnen, transparenten Schicht zu messen?
Welche Signale kommen von der Probe in einem Rasterelektronenmikroskop (min. 2 Nennungen)?
- Sekundärelektronen
- Rückstreuelektronen
- Wärme
- Röntgenstrahlen
Welche geometrischen Parameter einer dünnen Metallschicht kann man mit der „4Spitzen-Messung" bestimmen?
Warum kann man in einem Röntgenmikroskop (praktisch) keine refraktiven optischen Elementen verwenden?
bö
Welcher geometrische Parameter bestimmt das Auflösungsvermögen einer diffraktiven, röntgenoptischen „Zonenplatte"?
Atomare Auflösung? bö
Welche oberflächenspektroskopischen Verfahren kennen Sie? (min. 2 Nennungen)
- EDAX (energy dispersive analysis of x-rays)
- ESCA (electron spectroscopy for chemical analysis)
- Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
- SIMS (secondary ion mass spectroscopy)
Nennen Sie mindestens zwei Möglichkeiten, die Dicke einer dünnen Silizium-Dioxid-
Schicht auf Silizium zu messen (2 Stichwoıte)
(Skript Seite 25 Lösung nicht bestätigt)
Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)
Hall-Effekt
Interferometrie / Reflektometrie
Warum erreicht ein Elektronenmikroskop so viel bessere Auflösung als ein
Lichtmikroskop? (mind. l Stichwort)
Die Auflösung hängt von der Wellenlänge ab
Licht hat die höhere Wellenlänge
Welchen Materialparameter muss man kennen, um mit der 4-Spitzen-Messung die
Dicke einer Metallschicht zu bestimmen?
Welche Auflösung erreicht heute ein gutes Raster-Elektronenmikroskop?
