minat
minat Lernkarten aus switch drive importiert
minat Lernkarten aus switch drive importiert
Fichier Détails
| Cartes-fiches | 119 |
|---|---|
| Langue | Deutsch |
| Catégorie | Physique |
| Niveau | Université |
| Crée / Actualisé | 16.11.2019 / 22.11.2021 |
| Lien de web |
https://card2brain.ch/box/20191116_minat_lIEf
|
| Intégrer |
<iframe src="https://card2brain.ch/box/20191116_minat_lIEf/embed" width="780" height="150" scrolling="no" frameborder="0"></iframe>
|
Durch welchehn Prozessparameter unterscheiden sich LPCVD und PECVD am meisten?
Wie nennt man das Verhältnis zwischen der Aetzrate des zu ätzdnden Material und der Aetzrate des Maskiermaterials?
Aetzratenselektivität
Welche Kristallrichtung im Silizium wird von alkalischen Aetzmedien nicht angegriffen?
Was ist der wesentliche Unterschied zwischen einer Reaktiv-Ionenätzanlage und einer
Sputteranlage?
Beim Ätzen wird Material abgetragen, beim Sputtern aufgetragen
Nicht vollständig prüfen
Wie misst man beim RIE einer transparenten Schicht (z.B. Si-Nitrid) ob die Schicht
bereits durchgeätzt Wurde?
Endpoint-Detektor, alpha-step
Welche Eigenschaft müssen die Reaktionsprodukte beim Trockenätzen generell
haben?
Wie definiert sich die Selektivität bei einem Resist?
Müsste theorethisch schlecht sein, das man ja will das sich dieses Auflösen tut. (Lösung nicht bestätigt)
Warum können Trockenätzverfahren das Material unabhängig von der Kristallorientierung anisotrop ätzen?
Plasma und Sputterätzen greifen die Molekühle einzeln an und entfernt diese.
Mit welchen Aetzlösungen kann man Silizium nasschemisch anisotrop ätzen und wie muss das Silizium morphologisch beschaffen sein, damit es funktioniert?
- KOH-Ätzen
- Silizium in "100" Einkristall.
Welche Prozesse werden zu den "Trockenätztechniken" gezählt?
- Plasmaätzen (PE)
- Reaktiv-Ionenätzen (RIE)
- Sputterätzen
Eine Compact Disc besteht äusserlich aus einer 1.2 mm dicken Kunststoffscheibe mit einem Aufdruck auf einer Seite. Wo sind die Informationen?
Zwischen dem Audruck und dem Polycarbonat
Wo sind die Informationen bei einer DVD?
DVD ist aus 2 Hälften zusammengesetzt, Infos befinden sich auf beiden Häften
Die Informationen sind als Bits auf einer Spiralbahn angeordnet. Wie gross ist der Laserspot, um diese auszulesen?
Wie gross ist bei einer DVD der Laserstrahl in etwa am Punkt, wenn er in die Disc eintritt?
Wie tief sind in etwa die Bits bei einer DVD?
Warum variiert das Signal (physikalischer Begriff)?
inteferenz der Welenlängen
Bei dieser Anordnung ist die Numerische Apertur wegen von grosser Bedeutung? Wie ist diese definiert (Formel und Skizze)?
xmin=k*(λ/NA)
DVD eine grosse numerische Apertur ca. 0.6
bööööö
Warum sind diese weniger tief als bei einer CD?
bööö
Das Auslesen geschieht über Reflexion. Dafür sind diese gleichmässig mit 100 nm Aluminium beschichtet? Wenn der Strahl über ein Bit streicht, wird das Reflexionssignal
Welches Mikroskop haben wir Ihnen beim Besuch am PSI NICHT vorgeführt?
Für welches Mikroskop gilt folgende Einschränkung:
Sonde in mechanischem Kontakt mit der Probe:
Für welches Mikroskop gilt folgende Einschränkung:
Probe muss in Vakuumkammer:
Für welches Mikroskop gilt folgende Einschränkung:
Probe muss leitfähig sein:
Warum sind die Bilder, die mit einem AFM aufgenommen werden, im Vergleich zur wahren Topographie oft verzerrt bzw. verrundet?
Was bedeutet die Aussage, dass das Bild eine „Faltung" von Spitzengeometrie und Oberflächenrelief ist?
Warum kann man beim STM am leichtesten atomare Auflösung zu erzielen, z.B. sogar mit einem mit der Schere abgeschnittenen Draht (Skizze, 1 P)?
Tunneleffekt ist logaritschmisch abhängig von Spitze zu Substrat.
Nur das vorderste Atom der Spitze trägt zu dem Bild bei, so dass relativ leicht atomare Auflösung erzielt werden kann.
Warum kann man ein Scanning Tunneling Microscope nur für leitfähige Proben
vermessen:
Es muss ein Strom zwischen der Probe & der Messspitze fliessen.
-> Tunneleffekt ( Strom über Luft zwischen 2 leitende Medien)
Ab welcher Entfernung der Spitze zur Probe wird der Tunneleffekt beim STM(Scanning Tunneling Microscop)
relevant?
Warum kann man mit einem STM(Scanning Tunneling Microscope) lateral atomare Auflösung erreichen.
Elektronen aus dem EL. Wolken der Atome Springen über, je nach Strom kann die Höhe dedektiert werden.
(ACHTUNG GAB nur 1.5/2P)
Warum lenkt sich bei einem Atomic Force Microscope der Cantilever beim Scannen
über einer unebenen Probe aus und wie gewinnt man aus dieser Auslenkung ein
elektrisches Messsignal (2P , Skizze)?
Ab einer gewissen Distanz wird der Cantilever sowohl an- als abgestossen
-> Im gleichgewicht. Die Auslenkung wird mit einem Laserstrahl abgetastet & reflektiert
ERGÄNZUNG:
Das elektrische Signal wird durch Zellen die den Laser einfangen erzeugt.
Wenn vorne auf einem Cantilever eine kleine Masse liegt, wie ändert sich die
Schwingungsfrequenz? Ist sie
Wenn mit dem AFM an Luft gemessen wird, kann die Luftfeuchtigkeit zu einer
Verfälschung des Signals führen. Warum?
Vorgängerfrage:
Wenn mit dem AFM an Luft gemessen wird, kann die Luftfeuchtigkeit zu einer
Verfälschung des Signals führen. Warum?
Frage:
Was tut man, um diese Verfälschung des Signals zu verhindern Warum?
Warum ist ein mit einer integrierten Heizung auf 500°C geheizter Cantilever an
seinem Anfang (da, wo der Halter ist) nahezu Zimmertemperatur?
lösung nicht bestätigt
Warum ist die Atomic Force bzw. Scanning Force Microscopy weiter verbreitet und von grösserer praktischer Relevanz als STM?
Weil STM nur in der lage ist leitfähige Materialien zu messen
Wie sieht das Werkzeug, dh. der Cantilever-Chip beim AFM/SFM aus (makroskopisch und Nahaufnahme), also die Anordnung der Cantilever, die Grösse die Spitzen im Vergleich zum Cantilever? Warum kann man damit keine vertikalen Seitenwände von geätzten Strukturen sichtbar machen?
Durch die Form des Cantilever die gegeben ist, können keine verti. Seitenwände dargestellt werden.
Sie haben einen Mikro-Biegebalken (cantilever) (0.5 mm Länge) eingespannt, lenken diesen aus und lassen ihn schwingen. Mit welchem Mess-Aufbau erzeugen Sie normalerweise en elektrisches Signal und wie messen sie dieses? Wie ermitteln Sie daraus die Dämpfungskonstanze?
Dämpfungskonstante kann über die Abschwingende Amp. pro Zeit Mittels Q-Faktor errechnet werden.
(Q=f*pi/D) Das lektrische Signal wird mittels Piezoelement erzeugt und die Schwingung wird über ein Laser aufgezeichnet.
Sie befestigen den cantilever auf einem Piezokristall. Dann bringen sie diesen zum Schwingen. Sie scannen über einen weiten Frequenzbereich und stellen verschiedene Resonanzfrequenzen (Moden) fest. Welche davon deckt sich mit der im oben genannten Versuch? Nehmen sie einen einfach eingespannten, einteiligen Biegebalken und zeichnen sie drei (einfache) Moden auf. Wo sind die Schwingungsknoten und wo messen Sie?
Die ist der Fall bei der vorherigen Frage
Warum kann es bei der Standart-Messmethode sein, dass Sie einzelne Moden bei einer Schwingung des Cantilevers übersehen?
Falls Laser genau auf Knoten trifft, kann keine Auslenkung gemessen werden. (Laser misst nur Punktförmig)
