minat robin

minat zeugs

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Fichier Détails

Cartes-fiches 138
Langue Deutsch
Catégorie Devinettes
Niveau École primaire
Crée / Actualisé 14.11.2017 / 18.11.2017
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https://card2brain.ch/box/20171114_minat_robin
Intégrer
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Mikrotechnik:

Sie messen die Resonanzfrequenz(en) fn eines 500 μm langen und 1 μm breiten Cantilevers,
an dessen Spitze eine chemische Reaktion stattfindet. Die Grundfiequenz f0 nimmt ab, sie
messen stattdessen fΔm,< f0 Was ist geschehen?

Bei welchen zweien der folgenden Lithografien muss die Maske zwingend gleich
gross sein wie das Substrat, das man ganzflächig belichten will?

Vorherige:
Proximity-Lithografie
Kontaktlithografie


Welche Methode wendet man bei dem verbleibenden der drei Lithografieverfahren an,
um trotzdem einen ganzen Wafer zu belichten?

steppen / step & repeat

(steppen /step&repeat)
Bei welchen Belichtungsparametern kann bei dieser Methode die Auflösung NICHT
verkleinern

Welche Wellenlänge verwendet man heute (2012) zur Massenherstellung von
Mikrochips?

Welche Auflösung (der Leiterbahnen) erreicht man 2012 

Wo unterscheiden sich bei der Photolithographie die verschiedenen Verfahren Kontakt-,Proximity- und Projektions-Lithographie? (3-Skizzen)

siehe Bild

Auf welcher Seite ist bei einer optischen Maske ist die Absorberstruktur auf dem Quartz Substrat bei der Kontakt-Lithographie (im Vergleich zum Resist)? Warum? Was ist der Nachteil?

Sie ist auf der unteren Seite der Maske Beugungseffekte können auftreten.

Welchen Materialparameter müssen Sie kennen, um mit Interferometrie die Dicke einer dünnen, transparenten Schicht zu messen?

Welche Signale kommen von der Probe in einem Rasterelektronenmikroskop (min. 2 Nennungen)?

  • Sekundärelektronen
  • Rückstreuelektronen
  • Wärme
  • Röntgenstrahlen

Welche geometrischen Parameter einer dünnen Metallschicht kann man mit der „4Spitzen-Messung" bestimmen? 

Warum kann man in einem Röntgenmikroskop (praktisch) keine refraktiven optischen Elementen verwenden? 

Welcher geometrische Parameter bestimmt das Auflösungsvermögen einer diffraktiven, röntgenoptischen „Zonenplatte"?

Atomare Auflösung? bö

Welche oberflächenspektroskopischen Verfahren kennen Sie? (min. 2 Nennungen)

  • EDAX (energy dispersive analysis of x-rays)
  • ESCA (electron spectroscopy for chemical analysis)
  • Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
  • SIMS (secondary ion mass spectroscopy)

Nennen Sie mindestens zwei Möglichkeiten, die Dicke einer dünnen Silizium-Dioxid-
Schicht auf Silizium zu messen (2 Stichwoıte)

(Skript Seite 25 Lösung nicht bestätigt)

Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)

Hall-Effekt

Interferometrie / Reflektometrie

Warum erreicht ein Elektronenmikroskop so viel bessere Auflösung als ein
Lichtmikroskop? (mind. l Stichwort)

Die Auflösung hängt von der Wellenlänge ab
Licht hat die höhere Wellenlänge

Welchen Materialparameter muss man kennen, um mit der 4-Spitzen-Messung die
Dicke einer Metallschicht zu bestimmen?

Welche Auflösung erreicht heute ein gutes Raster-Elektronenmikroskop?