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MIkro und Nanotechnologie, Auswendiglernkarten für diese stumpfsinnige Prüfung

MIkro und Nanotechnologie, Auswendiglernkarten für diese stumpfsinnige Prüfung


Kartei Details

Karten 102
Lernende 17
Sprache Deutsch
Kategorie Elektronik
Stufe Universität
Erstellt / Aktualisiert 13.11.2017 / 08.02.2024
Weblink
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Warum kan man STM nur für leitfähige Proben verwenden?

die Elektronenwolke wird gemessen anhand von Tunnelstrom und Spannung

STM(Scanning Tunneling Microscope)/Rastertunnelmikroskop

Ab welcher Entfernung zur Probe wird der Tunneleffekt beim STM relevant?

1nm

Je kleiner die Masse  vorne am Cantilever dest ??? die Frequenz

Wenn mit dem AFM (Atomic Force Microscope) an Luft gemessen wird, kann die Luftfeuchigkeit zu einer Verfälschung  des Signals führen, warum?

Was tut man um beim AFM Verfälschung druch die Luft zu verhindern?

Spitze wird in einem Oszillierenden Modus über Probe gescannt

Warum hat hat bei seinem Anfang(Halter) beim Cantilever Zimmmertemperatur wenn eine Heizung diesen auf 500 Grad heizt?

Wärme wird von Halter abtransportiert wegen grossem Volumen und Masse

Bei welchen zwei Lithographiearten muss Maske gleich gross sein wie das Substrat?

Proximity

Kontaktlithographie

Welche Methode wird bei Projektlithographie benutzt um ganzen Wafer zu belichten?

Step and Repeat

Was ist der Lift Off Prozess?

Wieso kann für Lift-Off Lithographie kein Negativresist benutzt werden?

Struktur im Resist wird besser vernetzt durch die Belichtung, somit ist es nicht mehr möglich diese weg zu ätzen

Wieso wird der Resist (Viskose Flüssigkeit) beim Spincoating hart?

durch das ausbacken des Resists-> verdampfen des Lösungsmittels

Womit ätzt man am schnellsten eine  CPCVP-Silizium-Nitrid Schicht weg.

RIE(Reative Ion etching) mit CHF3/O2

Bei welcher Säure müssen zwingen die  Sicherheitsvorschriften beachtet werden?

Flusssäure

Was ist das Aspektverhältniss?

Strukturtiefe/Strukturbreite

wie nennt man dasVerhältnis zwischen  der Ätzrate  des zu ätzenden Materials und Ätzrate der Maske?

Ätzselektivität

Welche Kristallrichtung im Silizium wird von alkalischen Ätzmedien nicht angegriffen?

Welche natürlich erzeugten Partikel sind Nanopartikel?

Rauch eines Vulkanausbruchs

Auf welcher Seite der optischen Maske ist die Absorberstruktur  auf dem Quarz Substrat bei der Kontaktlithographie im Vergleich zum Resist?Warum? Nachteil?

Sie ist auf der Unterseite der Maske, Beugungseffekte können auftreten

licht
_____
_____

->Absorberstruktur

______
______-> Resist 

 

Wie definiert sich der Schichtwiederstand(Phi) bei  dünnen Metallschichten?

Phi=c*(U/I)

Eigenschaften Buckey-Ball?

besteht aus 60 Kohlenstoffatome, durchmesse =1mm

Welches sind die meisten  chem. Ausgangssubstanzen  des "Sol-Gel" Technologie ?

Wie heissen Legierungen die anch dem verformen beim erwären wieder ihre ursprüngliche Form annehmen?

Memory Legierung