Verfahren und Analysemethoden der MST
Vorlesung 8
Vorlesung 8
30
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Invisible
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Set of flashcards Details
Flashcards | 30 |
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Language | Deutsch |
Category | Technology |
Level | University |
Created / Updated | 11.04.2013 / 11.04.2013 |
Licencing | No Copyright (CC0) |
Weblink |
https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst6
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Welche Eigenschaften muss ein guter Resist haben?
- Strahlungsempfindliches Polymer
- selektiv strukturierbar
- resistent gegen weitere folgende Strukturierungsprozesse
Wodurch ist das Aspektverhältnis gegeben?
Tiefe/Breite
Was ist die spezielle Eigenschaft des SU-8 Resists?
Aspektverhältniss bis zu 30
Welcher Resist erzielt die höhere Strukturauflösung – Positiv- oder Neagtivresist?