Verfahren und Analysemethoden der MST

Vorlesung 6

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Kartei Details

Karten	25
Sprache	Deutsch
Kategorie	Technik
Stufe	Universität
Erstellt / Aktualisiert	11.04.2013 / 11.04.2013
Lizenzierung	Kein Urheberrechtsschutz (CC0)
Weblink	https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst4
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Nennen Sie die drei wesentlichen Schritte bei grundlegendem Prinzip der Evaporation.

Thermisches verdampfen von Material (1000-3500°C)
Transfer der Dampfteilchen zum Substrat
Niederschlag (Kondensation) auf kühlem Substrat (100-200°C) und den Wänden des Rezipienten

Nennen Sie die verschiedenen Verdampfungsquellen beim thermischen Verdampfen

Aus welchem Material besteht ein Schiffchen in der Verdampfungsanlage und warum?

Wolframblech, hoher Siedepunkt bei 3695K

Was ist die typische kinetische Energie eines verdampften Teilchens?

0,2eV

Welches Bauteil wird meistens zur Prozesskontrolle beim thermischen Aufdampfen genutzt?

Schwingquarz

Erklären Sie den direkten und den indirekten Piezoelektrischen Effekt.

Direkter Effekt:

Bei Verformung bestimmter Materialien treten auf der Oberfläche elektrische Ladungen auf

Indirekter Effekt:

Beim anlegen von Spannung verformen sich diese Materialien

Bindeglied zwischen Elektrostatik und Mechanik

Welche Materialklasse besitzt eine piezoelektrische Eigenschaft?

Piezokeramiken, gefertigt aus synthetischen, anorganischen, ferroelektrischen und polykristallinen Keramikwerkstoffen.

Hochvolt: Blei-Zirkonat-Titane (PZT)

Niedervolt: Blei-Magnesium-Niobate (PNN)

Skizzieren Sie die aufgedampfte Schicht bei thermischen Aufdampfen und begründen Sie

siehe Bild