Verfahren und Analysemethoden der MST
Vorlesung 10
Vorlesung 10
Kartei Details
| Karten | 28 |
|---|---|
| Sprache | Deutsch |
| Kategorie | Technik |
| Stufe | Universität |
| Erstellt / Aktualisiert | 11.04.2013 / 11.04.2013 |
| Lizenzierung | Kein Urheberrechtsschutz (CC0) |
| Weblink |
https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst8
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Wofür steht der Begriff LIGA?
Lithographie, Galvanik, Abformung
Was ist der Wellenlängenbereich bei der Röntgenlithographie?
0,2nm
Wie dick können die maximalen Resistdicken bei der Röntgenlithographie sein?
3mm
Was sind die drei Komponenten einer Maske für die Röntgenlithographie?
- Maskenrahmen
- Trägerfolie (Titan, Beryllium, Kunststoff)
- Absorberstruktur (dicker Absorber mit hohem Atomgewicht)
Wodurch entsteht Synchrotronstrahlung?
Ablenkung relativistischer Elektronen im Magnetfeld --> Synchrotronstrahlung aufgrund der Querbeschleunigung der Elektronen
Wodurch ist die Wellenlänge der Synchrotronstrahlung bestimmt?
Elektronenenergie und Beschleunigungsradius
Was ist der am häufigsten verwendete Resist bei der Röntgentiefenlithographie per Synchrotronstrahlung?
PMMA
Was muss der Goldabsorber bei einer Maske für die Röntgentiefenlithographie leisten?
Dicke muss so gewählt sein, dass die durchtretende Intensität unterhalb der Schädigungsdosis liegt
