Verfahren und Analysemethoden der MST
Vorlesung 9
Vorlesung 9
Kartei Details
| Karten | 25 |
|---|---|
| Sprache | Deutsch |
| Kategorie | Technik |
| Stufe | Universität |
| Erstellt / Aktualisiert | 11.04.2013 / 11.04.2013 |
| Lizenzierung | Kein Urheberrechtsschutz (CC0) |
| Weblink |
https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst7
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Benennen Sie die drei folgenden Ätzprofile bezüglich ihrer Isotropie:
a) Isotropes Ätzprofil
b) anisotropes Ätzprofil (z.B. Trockenätzen)
c) anisotropes Ätzprofil (z.B. KOH-Ätzen)
Wie ist der Anisotropiefaktor beim Ätzen definiert?
A = 1 - (laterale Ätzrate/vertikale Ätzrate)
Welcher der Ätzprofile in Abbildung hat einen Anisotropiefaktor von 1?
Gegeben seinen zwei Materialien 1 und 2. Wodurch ist die Selektivität beim gleichzeitigen Ätzen
beider Materialien gegeben?
S = Verhältniss der Ätzraten = r1/r2
Wodurch erfolgt der Materialabtrag beim chemischen Ätzen?
Chemischer Angriff und auflösen des Materials
Wodurch erfolgt der Materialabtrag beim physikalischen Ätzen?
Impuls der auftreffenden Teilchen
Welches Verfahren ist selektiver: Chemisches oder physikalisches Ätzen? Begründen Sie!
Wie lautet die chemische Reaktionsgleichung beim nasschemischen Ätzen von SiO2 durch Flusssäure (HF)?
SiO2 + 4HF --> SiF4 + 2H2O
