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Verfahren und Analysemethoden der MST

Vorlesung 7

Vorlesung 7

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Kartei Details

Karten 44
Sprache Deutsch
Kategorie Technik
Stufe Universität
Erstellt / Aktualisiert 11.04.2013 / 11.04.2013
Lizenzierung Kein Urheberrechtsschutz (CC0)
Weblink
https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst5
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<iframe src="https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst5/embed" width="780" height="150" scrolling="no" frameborder="0"></iframe>

Wofür steht die Abkürzung CVD?

Chemical vapor deposition

Nennen Sie die 7 Teilprozesse in ihrer Reihenfolge beim CVD Prozess.

  1. Transport der Reaktanten durch erzwungene Konvektion in die Abscheide-Region
  2. Transport der Reaktanten durch Diffusion durch die Grenzschicht hindurch zur Substratoberfläche
  3. Adsorption der Reaktanden an der Substratoberfläche
  4. Oberflächenreaktion
  5. Desorption der flüchtigen Reaktionsnebenprodukten
  6. Transport der Reaktionsnebenprodukte mittels Diffusion durch Grenzschicht
  7. Abtransport der Reaktionsnebenprodukte durch erzwungene Konvektion

Welches ist der limitierende Prozessschritt veim CVD-Prozess bei niedriger/hoher Temperatur?

Niedrige Temperatur: Reaktionslimitierende Prozessführung (Oberflächenreaktion bestimmt Schichtwachstum)

HoHe Temperatur: Transport- diffusionslimitierende Prozessführung (Diffusionsvorgänge bestimmen Schichtwachstumsrate)

Erklären Sie die Begriffe heterogene und homogene CVD.

Heterogen: Schichtmaterial wird durch Reaktion der Gase an der Oberfläche des Substrats gebildet

Homogen: Schichtmaterial wird durch Reaktion abseits der Oberfläche des Substrats gebildet

Bei welchem CVD-Prozess werden bessere Schichten hergestellt? Homogene oder heterogene CVD?

Welche Möglichkeiten zur Energiezufuhr hat man bei der CVD Abscheidung?

  1. Thermische Energiezufuhr
  2. Elektrische Energiezufuhr (Plasma)
  3. Optische Energiezufuhr (Laser)

Nennen SIe Vorteile des CVD Verfahrens.

  1. Keine Reaktion mit Substratmaterial
  2. Hohe Reinheit der Schichten
  3. gute Kantenabdeckung
  4. Große Bandbreite an Materialien
  5. gute Prozesskontrolle durch Wahl der Gase, Termperatur, Druck und Massenflüsse

Nennen Sie Nachteile des CVD Verfahrens.

  1. relativ hohe Temperaturen notwendig (thermal stress)
  2. Einsatz toxischer Gase