Verfahren und Analysemethoden der MST
Vorlesung 3
Vorlesung 3
Kartei Details
| Karten | 21 |
|---|---|
| Sprache | Deutsch |
| Kategorie | Technik |
| Stufe | Universität |
| Erstellt / Aktualisiert | 11.04.2013 / 11.04.2013 |
| Lizenzierung | Kein Urheberrechtsschutz (CC0) |
| Weblink |
https://card2brain.ch/box/verfahren_und_analysemethoden_der_mst2
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Nennen Sie Argumente für den Einsatz von Mikrosystemen (mind. 4)
Kosten (Integration vieler Prozessschitte in Batchfertigung)
Baugröße
Zuverlässigkeit (Verzicht auf Verbindungselementen)
Funktionalität (Integration von Elektronik und Mechanik)
Autonomie (geringer Energieverbrauch, Signalauswertung)
Nennen Sie Beispiele für Mikrosysteme in der Medizintechnik
Stents
Smart pills
Cochlea-Implantat
Beschreiben Sie den Technologiekreislauf in der MST mit einer Skizze und erklären Sie die Schritte
Verschmutztes Substrat
--> Schleifenbeginn
reinigen
Schichterzeugung
Lithographie
Strukturübertragung 1 und 2
--> Schleifen ende
Vereinzeln evtl gehäuste Mikrostrukturen
Warum ist die Ausbeute pro Prozessschritt so wichtig?
Für akzeptable Ausbeute muss jeder einzelne Prozessschritt perfekt ablaufen (yield)
Was ist die Wahrscheinlichkeit für einen funktionierenden Chip, wenn im Durchschnitt 1 Fehler pro Chip auf dem Wafer ist?
Yc = e^-z bei 1: 0,37
Welche Vorteile hat man durch Verkleinerung der Chips auf einem Wafer bezüglich der Fehlerwahrscheinlichkeit?
Je kleiner desto billiger und aufgrund Defektdichte bei kleinerer Fläche geringer --> höhere Ausbeute
Was sind die üblichen Fehlerquellen bei der Prozessierung?
Partikelbehaftete Störungen
Kurzschluss
fehlende/ungewollte Maskierung
undefinierte Oberfläche
Wodurch kann man eine Qualitätssteigerung erzielen?
Reinräume
Prozessierung im Vakuum
Standardprozesse und Designregeln
Standard-Prozessmodule
Verhalten im Reinraum
