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Lernende 1 Lernende
Sprache Deutsch
Stufe Universität
Erstellt / Aktualisiert 16.11.2019 / 16.11.2019
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13 Exakte Antworten 52 Text Antworten 54 Multiple Choice Antworten
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Welchen Materialparameter müssen Sie kennen, um mit Interferometrie die Dicke einer dünnen, transparenten Schicht zu messen?

Die Dielektrizitätskonstante c

Den Elastizitätsmodul E

Den Brechungsindex n

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Welche Signale kommen von der Probe in einem Rasterelektronenmikroskop (min. 2 Nennungen)?

  • Sekundärelektronen
  • Rückstreuelektronen
  • Wärme
  • Röntgenstrahlen
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Welche geometrischen Parameter einer dünnen Metallschicht kann man mit der „4Spitzen-Messung" bestimmen? 

die Schichtdicke

die Magnetisierung

den Kontaktwiderstand

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Warum kann man in einem Röntgenmikroskop (praktisch) keine refraktiven optischen Elementen verwenden? 

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Welcher geometrische Parameter bestimmt das Auflösungsvermögen einer diffraktiven, röntgenoptischen „Zonenplatte"?

Atomare Auflösung? bö

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Welche oberflächenspektroskopischen Verfahren kennen Sie? (min. 2 Nennungen)

  • EDAX (energy dispersive analysis of x-rays)
  • ESCA (electron spectroscopy for chemical analysis)
  • Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)
  • SIMS (secondary ion mass spectroscopy)
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Nennen Sie mindestens zwei Möglichkeiten, die Dicke einer dünnen Silizium-Dioxid-
Schicht auf Silizium zu messen (2 Stichwoıte)

(Skript Seite 25 Lösung nicht bestätigt)

Kapazitäts-Spannungs-Messungen (CV)

Hall-Effekt

Interferometrie / Reflektometrie

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Warum erreicht ein Elektronenmikroskop so viel bessere Auflösung als ein
Lichtmikroskop? (mind. l Stichwort)

Die Auflösung hängt von der Wellenlänge ab
Licht hat die höhere Wellenlänge