Mirko- und Nanotechnik
Dünnschicht
Dünnschicht
Kartei Details
Karten | 37 |
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Sprache | Deutsch |
Kategorie | Technik |
Stufe | Universität |
Erstellt / Aktualisiert | 06.11.2019 / 06.02.2020 |
Lizenzierung | Keine Angabe |
Weblink |
https://card2brain.ch/box/20191106_mirko_und_nanotechnik_GtMq
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Welches der genannten Verfahren ist kein PVD Verfahren?
Geben Sie die Druckbereiche in Zehnerpotenzen von millibar an für folgende Vakuumtypen:
- Vorvakuum:
- Hochvakuum:
- Ultrahochvakuum:
- Vorvakuum: 1000 bis 10-1 mBar
- Hochvakuum: 10-2 bis 10-7 mBar
- Ultrahochvakuum: unter 10-7 mBar
Mit welchen Instrumenten kann Vakuum quantitativ gemessen werden? (min. 2 Nennungen)
- Pirani- oder Membranzellen
- Ionisationszellen (Penning)
- Heisskathoden-Ionisationszellen
Wie nennt man die morphologisch gleichförmige Abscheidung von Substrat-identischem Material auf einem Substrat?
Sie ätzen einen Si-Wafer in KOH-Lösung. Bei welcher Kristallorientierung hat die geätzte Struktur senkrechte Wände zur Waferoberfläche?
Bei welchen Produkten wird kristallrichtungs-selektives Ätzen heute angewandt?
Druckkopf-Tintenstrahldrucker
Was ist der wichtigste Vorteil von „Reaktiv-Ionenätzen" gegenüber kristallrichtungsselektivem Nassätzen?
Es ist immer anisotrop
Kann man in einer Sputteranlage auch „Reaktiv-Ionenätzen"?